離子源

OIS-CDM

OIS-CDM可以測(cè)量離子源的離子電流密度，可以通過(guò)選擇專用程序自動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。

規(guī)格
電源電壓 交流電 100 V±15 ％
偏置電源（內(nèi)部） 0至±60 V / 0.5 A
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量范圍 ±199.99 mA至±1.9999 mA
規(guī)管，電纜，導(dǎo)入接頭
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管 φ30mm（φ8mm，測(cè)量平面），10個(gè)
掃描點(diǎn)數(shù) 32點(diǎn)
尺寸 480 × 99 × 330 mm