關(guān)于OTFC系列

OTFC-1550

OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。

特征
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60點/80點式光學(xué)膜厚監(jiān)控
使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
搭載雙電子槍，多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程
工件架可選擇鐘罩式或行星式
排氣系統(tǒng)可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
規(guī)格
設(shè)備名稱 OTFC-900CBI/DBI
真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
工件架 φ 790mm
工件架轉(zhuǎn)速 10 rpm to 30 rpm (可變)
光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀波長范圍：350nm to1100nm反射式/透射式可選
水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發(fā)源 電子槍2套
離子源 10cm RF 離子源
排氣系統(tǒng) 機械泵+1個擴散泵+Polycold（或1個冷凝泵）
性能
達到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以下
排氣時間 15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
基板溫度 最高：350℃
工作條件
設(shè)備尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量 180升/分以上
空氣壓力 0.5MPa 以上
重量 約5400kg