DHOM-T

直接透過(guò)式監(jiān)控儀

特征

可直接監(jiān)控旋轉(zhuǎn)基板片上的光學(xué)膜厚

旋轉(zhuǎn)基板上的監(jiān)控點(diǎn)可變(鍍膜前調(diào)整)

可同時(shí)配備間接控制儀能實(shí)現(xiàn)各層間控制方式切換

規(guī)格

型號(hào) DHOM2-T DHOM4-T

波長(zhǎng)帶域 350 ～ 1100nm 350 ～ 2400nm

測(cè)光方式 透過(guò)式

光源 鹵素?zé)?/span>

電源 AC100V ± 10%, 50/60Hz